中频磁控溅射：这种镀膜方法是将磁控溅射电源由传统的直流改为中频交流电源。在溅射过程中，当系统所加电压处在交流电负半周期时，靶材被正离子轰击而溅射，而处于正半周期时，靶材表面被等离子体中的电子轰击而溅射，同时靶材表面累积的正电荷被中和，打弧现象得到压制。中频磁控溅射电源的频率通常在10一80 kHz之间，频率高，正离子被加速的时间就短，轰击靶材时的能量就低，溅射沉积速率随之下降，宿迁磁控镀膜机设计，宿迁磁控镀膜机设计。中频磁控溅射系统一般有两个靶，这两个靶周期性轮流作为阴极和阳极，宿迁磁控镀膜机设计，一方面减小了基片溅伤；另一方面也消除了打弧现象。磁控溅射所利用的环状磁场迫使二次电子跳栏式地沿着环状磁场转圈。宿迁磁控镀膜机设计

膜层结合力强，在真空电镀加工过程中，有部分电子撞击到基材表面，表面原子，并且产生清洁的作用，而镀材通过溅射所获得的能量比蒸发所获得的能量高出1到2个数量级，带有如此高能量的镀材原子撞击到基材表面时，有更多的能量可以传递到基材上，产生更多的热能，使被电子的原子加速运动，与部分镀材原子更早互相溶合到一起，其他镀材原子紧随着陆续沉积成膜，加强了膜层与基材的结合力。镀材范围广，由于溅射镀膜是通过氩离子的高速轰击使镀材溅射出来的，当然这个厚度是在可允许的范围内，而且控制好电流，无论重复镀多少次，膜层厚度都不会变化，膜厚的稳定性可归结为膜厚良好的可控性和重复性。不像五金电镀加工由于熔点的原因而限制只能使用熔点比较低的镀材，而溅射镀膜固体的物质都可以成为镀材。宿迁磁控镀膜机设计磁控溅射工艺可以很好地控制膜层成分、膜厚、膜厚均匀性和膜层机械性能等。

磁控溅射镀膜机： 磁控溅射镀膜机是一种用于材料科学领域的工艺试验仪器，于2011年03月26日启用。 1技术指标： 1.配装3支Ф2英寸的磁控溅射靶，其中一支可镀铁磁材料。2.磁控溅射靶射频（RF）、直流（DC）兼容。3.每只磁控溅射靶均配备挡板，基片配挡板。4.极限真空：5*10-5Pa；工作背景真空：7*10-4Pa.5.基片尺寸≤Ф4英寸。6.基片可加热至500℃.7.控制系统：PC+PLC全自动控制。 2主要功能： 磁溅射镀膜机是一种普适镀膜机，用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系。可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其他化学反应膜，亦可镀铁磁材料。主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。

磁控溅射镀膜设备的工作原理要从一开始的“溅射现象”说起，人们由起初发觉“溅射现象”发展至“溅射镀膜”此间历经了相当长的发展时间，溅射现象早在19世纪50年代的法拉第气体放电实验就已经发现了。不过当时还只将此现象作为一种避免范畴的研究，认为这种现象是有害的。直到20世纪，才有人证明了沉积金属是阴极被正离子轰击才溅射出来的物质。20世纪60年代时溅射制取的钽膜出现。到了1965年出现同轴圆柱磁控溅射装置和三级溅射装置，20世纪70年代，平面磁控溅射镀膜设备被研发出来，实现了高速低温溅射镀膜，使溅射镀膜一日千里，进展飞快。不同颜色的镀膜，也使的成像色彩平衡的不同。

真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。随着全球制造业高速发展，真空镀膜技术应用越来越普遍。从半导体集成电路、LED、显示器、触摸屏、太阳能光伏、化工、制药等行业的发展来看，对真空镀膜设备、技术、材料需求都在不断增加，包括制造大规模集成电路的电学膜;数字式纵向与横向均可磁化的数据纪录储存膜;充分展示和应用各种光学特性的光学膜;计算机显示用的感光膜;TFT、PDP平面显示器上的导电膜和增透膜;建筑、汽车行业上应用的玻璃镀膜和装饰膜;包装领域用防护膜、阻隔膜;装饰材料上具有各种功能装饰效果的功能膜;工、模具表面上应用的耐磨超硬膜;纳米材料研究方面的各种功能性薄膜等PVD镀膜技术的应用主要分为两大类：装饰镀和工具镀。宿迁磁控镀膜机设计

完美解决了膜层附着力、硬度、耐脏污、耐摩擦性、耐溶剂性、耐老化、耐水泡及水煮等性能问题。宿迁磁控镀膜机设计

　真空系统设计是一个相对成熟的设计部分，主要包括下面四个部分： 　　(1)室体结构——由系统工作方式设定其设计形式。真空室可设计为单室，多室和生产线等形式，并可以选择诸如连续、半连续等生产方式。对于生产平板基片的室体来说，应该进行强度、刚度、稳定性等优化设计，同时考虑加工工艺的可行性和简易性。 　　(2)材料选择——按照真空工艺要求，选择满足饱和蒸气压低，热稳定性和化学稳定性好，易除气，透气率小等要求的材料21。例如，奥氏体不锈钢，铝合金，无氧铜等。对于大尺寸设备，为降低设备整体或移动部件的重量，可以优先选取铝合金等轻质金属材料。 　　(3)真空元件的设计——真空密封，电极引入，管路和阀门等。不同的工艺条件所选用的真空元件不同。 　　(4)真空泵和真空计的选择——一般可按照常见的工程要求进行设计。精确的设计需要定量的计算真空室内的工艺气体密度分布。不同种类的气体和不同的真空室清洁程度的要求需要选用不同的真空泵和真空计。真空泵的返油会对基片造成污染，氧气等反应气体会氧化泵油，因此，常选用干式无油真空泵作为真空抽气系统。 宿迁磁控镀膜机设计

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