溅射镀膜的方式很多，比较具有代表性的方法有： 1.射频溅射。为制取绝缘薄膜，如氧化硅，氧化铝，玻璃膜等而研制，也可溅射金属； 2.反应溅射。可制作阴极物质的化合物薄膜，如氮化钛，碳化硅，氮化铝，氧化铝等； 3.偏压溅射。镀膜过程中同时清理基片上轻质量的带电粒子，从而使基板中不含有不纯气体； 4.非对称交流溅射，真空镀膜机器。在振幅大的半周期内对靶进行溅射，在振幅小的半周期内对基片进行离子轰击，清理吸附的气体，真空镀膜机器，以获得高纯薄膜； 5.离子束溅射。在高真空下，利用离子束溅射镀膜，是非等离子体状态下的成膜过程，真空镀膜机器。靶接地电位也可； 6.吸气溅射。利用对溅射粒子的吸气作用，除去不纯物气体，能获得纯度高的薄膜。真空镀膜机的每种泵都有一定的工作压强范围。真空镀膜机器

真空镀膜应用包括建筑玻璃镀膜，光学器件镀膜，CD/DVD镀膜和硬质合金镀膜等适合的真空设备和真空解决方案是真空镀膜应用的关键。当开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和滑阀真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在较高效率点运转，才能获得较大的节能效果。真空泵在运行过程中，轴承温度不得比周围温度高30℃，而且温度值不高于60℃。向滚轮轴承室内压入ZG-4号钙基润滑脂，以充满轴承室空间的2/3为宜。正常工作的轴承应每年装油3~4次，一年内至少清洗轴承一次，更换全部的润滑脂。真空镀膜机器真空镀膜应用包括建筑玻璃镀膜，硬质合金镀膜等。

真空镀膜机的适用范围： 1．建筑五金：卫浴五金（如水龙头）．门锁．门拉手．卫浴、五金合叶、家具等。 2．制表业：可用于表壳．表带的镀膜、水晶制品。 3．其它小五金：皮革五金．不锈钢餐具．眼镜框、刀具、模具等． 4．大型工件：汽车轮毂、不锈钢板．招牌．雕塑等。 5、不锈钢管和板（各种类型表面） 6、家具、灯具、宾馆用具。 7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器皿等五金制品镀超硬装饰膜。 8、手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰（金银）纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。

真空镀膜机常见故障及处理方法： 一.在同一掩膜夹具频率散差大: 1. 检查晶片本身是否散差大 2. 检查膜层修正板位置是否变动,重新调节修正板 3．检查一下挡板在开、关时是否完全遮挡住钼舟 4．检查一下轰击环是否完遮挡住钼舟 5、检查钼舟使用是否符合要求，要采用圆形钼舟 二.镀膜频率不停止: 1、检查频率参数设置是否正确 2、钼舟电流表是否有指示 3、钼舟中是否有银 4、监控片是否跳频 5、修正系数是否错误 6、在出现非正常退后是否更换过监控片真空镀膜机每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。

真空镀膜的基础知识： 薄膜是一种物质形态，它所使用的膜材料非常广，可以是单质元素或化合物，也可以是无机材料或有机材料。薄膜与块状物质一样，可以是单晶态的，多晶态的或非晶态的。近年来功能材料薄膜和复合薄膜也有很大发展。镀膜技术及薄膜产品在工业上的应用非常广，尤其是在电子材料与元器件工业领域中占有及其重要的地位。 镀膜方法可以分为气相生成法，氧化法，离子注入法，扩散法，电镀法，涂布法，液相生长法等。气相生成法又可分为物理的气相沉积法，化学气相沉积法和放电聚合法等。 真空蒸发，溅射镀膜和离子镀等通常称为物理的气相沉积法，是基本的薄膜制备技术。它们都要求淀积薄膜的空间要有一定的真空度。所以，真空技术是薄膜制作技术的基础，获得并保持所需的真空环境，是镀膜的必要条件。真空镀膜机的基片与靶材同在真空腔中。真空镀膜机价格表

真空蒸镀机的原理就如字面上的意思一样，为真空镀膜。真空镀膜机器

真空镀膜生产线生产出来的产品在航空航天、造船、太阳能光热应用、电子仪器、灯饰、建筑装修、汽车制造、标牌等领域被普遍应用，具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导磁、绝缘、装饰和低碳、环保等特点，生产的高反射产品反射率高达98%，吸热产品吸热率达95%以上。电镀工艺不只成本高，而且生产时对环境危害大，新越引进的真空镀膜技术可以实现低能耗，生产时可以连续一次性完成，不产生重金属污染，基本无环境污染隐患。另外，真空镀膜生产线可以为我国平板太阳能产业提供性能优良的热吸金属板芯片，以及高性能高反射镜面金属板带，填补空白。通过自主生产，能减少对国外进口产品的依赖。因此，这条生产线对于国内行业的社会效益也是显而易见的。真空镀膜机器

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